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問答題
【簡答題】為何需要zero layer？
答案：
芯片的工藝由許多不同層次堆棧而成的, 各層次之間以zero layer當做對準的基準。
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問答題
【簡答題】Wafer下線的第一道步驟是形成start oxide 和zero layer? 其中start oxide的目的是為何？
答案：
①不希望有機成分的光刻膠直接碰觸Si表面。
②在laser刻號過程中，亦可避免被產生的粉塵污染。
問答題
【簡答題】一般硅片的制造常以幾P幾M 及光罩層數(mask layer)來代表硅片工藝的時間長短，請問幾P幾M及光罩層數(mask layer)代表什么意義？
答案：
幾P幾M代表硅片的制造有幾層的Poly(多晶硅)和幾層的metal(金屬導線).一般0.15um 的邏輯產品為1P6M(...
