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問答題

【簡答題】離子注入后為什么要進行熱退火

答案：離子注入的過程中，離子與晶格原子碰撞會使原子從晶格的束縛能中釋放出來。熱退火可以修復單晶結構并激活摻雜物。

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【簡答題】簡述離子注入的通道效應和減小通道效應的方法

答案：通道效應：如果一個電子以正確的角度進入通道，它只需要很少的能量就可以行進很長的距離。
方法：
（1）...

離子注入的兩種阻滯機制：（）

答案：原子核阻滯和電子阻滯