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填空題

化學(xué)氣相沉積與物理氣相沉積最根本的區(qū)別是在沉積前是否發(fā)生了（）。

答案：化學(xué)反應(yīng)

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晶體缺陷的存在對(duì)（）會(huì)產(chǎn)生明顯的影響。

答案：晶體的性質(zhì)

（）主要是沉淀相、晶粒內(nèi)的氣孔和第二相夾雜物等。

答案：體缺陷

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