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問答題

【簡答題】什么是溝道效應(yīng)？

答案：對晶體靶進行離子注入時，當(dāng)離子注入的方向與靶晶體的某個晶向平行時，其運動軌跡將不再是無規(guī)則的，而是將沿溝道運動并且很少受...

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【簡答題】如何降低溝道效應(yīng)？

答案：減少溝道效應(yīng)的措施：
（1）對大的離子，沿溝道軸向（110）偏離7－10o；
（2）用Si，Ge，F(xiàn)...

【簡答題】與擴散源相比，離子注入有哪些優(yōu)點？

答案： 1.可在較低的溫度下，將各種雜質(zhì)摻入到不同的半導(dǎo)體中；
2.能夠精確控制晶圓片內(nèi)雜質(zhì)的濃度分布和注入的深度；<...

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