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【簡答題】在場區(qū)中,防止出現(xiàn)寄生溝道的措施是什么?
答案:
足夠厚的場氧化層、場區(qū)注硼、合理的版圖。
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特征尺寸不斷縮小、增大芯片面積及單元結(jié)構(gòu)的改進。
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