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問答題

【簡答題】化學氣象淀積是什么？

答案：

通過氣態(tài)物質的化學反應，wafer表面淀積一層固態(tài)薄膜材料的工藝

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【簡答題】物理氣相淀積主要有哪三種技術？

答案：

蒸鍍、濺射、分子束外延生長

【簡答題】晶向指數表示什么？

答案：

所有相互平行，方向一致的晶向晶面，指數代表所有相互平行的一組晶面

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