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問答題

【簡答題】分子束外延生長有什么特點？

答案：

只能在超真空中進行且量產(chǎn)較低、在GaAs基片上生長無限多外延層、可以控制參雜的深度和精度到納米級

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【簡答題】金屬有機物氣相外延生長和一般的氣相外延生長的最大區(qū)別是什么？

答案：

它是一種冷壁工藝，只要將襯底控制到一定溫度就行了

【簡答題】液態(tài)生長有什么優(yōu)缺點？

答案：

最簡單最廉價但其外延層的質量不高