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名詞解釋

刻蝕

答案：

通過(guò)腐蝕，將光刻膠上圖形完整整地轉(zhuǎn)移到Si片上。

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光刻三要素

答案：

光刻機(jī)，光刻板（掩模板），光刻膠。

光刻

答案：

通過(guò)光化學(xué)反應(yīng)，將光刻板上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上。