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名詞解釋

答案：

利用某種物理過程，例如蒸發(fā)或者濺射現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)物質(zhì)的轉(zhuǎn)移，即原子或分子由源轉(zhuǎn)移到襯底表面上，并淀積成薄膜。

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答案：

就是快速退火，即降低退火溫度，或者縮短退火時間完成退火。

答案：如果將注有離子的硅片在一定溫度下，經(jīng)過適當(dāng)時間的熱處理，則硅片中的損傷就會得到大部分消除，少數(shù)載流子的壽命以及遷移率也會...