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問答題
【簡答題】什么是MEMS？它主要包括哪幾個部分？并簡述各個部分的功能。
答案：
微電子機械系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一...
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問答題
【簡答題】集成電路技術(shù)發(fā)展的方向有哪些？盡可能描述。
答案：
主要有三個發(fā)展方向
①器件的特征尺寸繼續(xù)縮小。國外發(fā)達國家和地區(qū)正在向0.1微米以下階段進軍。
②重...
①器件的特征尺寸繼續(xù)縮小。國外發(fā)達國家和地區(qū)正在向0.1微米以下階段進軍。
②重...
問答題
【簡答題】MEMS工藝與微電子工藝技術(shù)有哪些區(qū)別。
答案：
MEMS，即微電子機械系統(tǒng)，可將機械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng)。而微電子工藝是包含在...
