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名詞解釋
退火
答案：
也叫熱處理，集成電路工藝中所有的在氮氣等不活潑氣氛中進(jìn)行的熱處理過程都可以稱為退火。
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名詞解釋
離子注入
答案：
將具有很高能量的雜質(zhì)離子射入半導(dǎo)體襯底中的摻雜技術(shù)，摻雜深度由注入雜質(zhì)離子的能量和質(zhì)量決定，摻雜濃度由注入雜質(zhì)離子的數(shù)目...
