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名詞解釋

柵氧化層電容

答案：氧化層介電常數(shù)與氧化層厚度之比，表示的是單位面積的電容，記為Cox。

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臨界反型

答案：

當(dāng)柵壓接近或等于閾值電壓時空間電荷寬度的微弱改變，并且反型層電荷密度等于摻雜濃度時的情形。

金屬-半導(dǎo)體功函數(shù)差

答案：

金屬功函數(shù)和電子親合能之差的函數(shù)，用φms表示。