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問答題
【簡答題】簡述光刻工藝的8道工序
答案：
八道工序為：晶圓清洗、預(yù)烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對準和曝光、曝光后烘烤，以及顯影、硬烘烤和圖形檢測
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問答題
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答案：
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2、接近...
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