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【簡答題】熱蒸發(fā)制備薄膜的過程有哪些?
答案:
準備→抽真空→預蒸→蒸發(fā)→取片
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【簡答題】氣體直流輝光放電分為哪幾個區(qū)?其中輝光放電區(qū)包括哪幾個區(qū)?濺射區(qū)域選擇在哪個區(qū)?
答案:
分為暗流區(qū),湯生放電區(qū),輝光放電區(qū),電弧放電區(qū)。
輝光放電區(qū)分為
c-d:前期輝光放電區(qū)
...
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答案:
常壓化學氣相淀積、低壓化學氣相淀積、等離子增強化學氣相淀積和高密度等離子體化學氣相淀積
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