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問答題

【簡答題】一般的離子注入層次（Implant layer）工藝制造可分為那幾道步驟?

答案：一般包含下面幾道步驟：
①光刻（Photo）及圖形的形成；
②離子注入調整；
③離子注入完...

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答案：阱區(qū)離子注入調整是利用離子注入的方法在硅片上形成所需要的組件
電子特性，一般包含下面幾道步驟：
①W...

【簡答題】在STI的形成步驟中有一道liner oxide（線形氧化層）， liner oxide 的特性功能為何？

答案：

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