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問(wèn)答題
【計(jì)算題】在p-Si中擴(kuò)磷13分鐘，測(cè)得結(jié)深為0.5μm，為使結(jié)深達(dá)到1.5μm，在原條件下還要擴(kuò)散多長(zhǎng)時(shí)間？然后，進(jìn)行濕氧化，氧化層厚0.2μm時(shí)，結(jié)深是多少？（濕氧速率很快， 短時(shí)間的氧化，忽略磷向硅內(nèi)部的推進(jìn)）
答案：
