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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】MOS器件的主要特性是什幺？
答案：
它主要是通過(guò)柵極電壓（Vg）來(lái)控制源，漏極(S/D)之間電流，實(shí)現(xiàn)其開(kāi)關(guān)特性。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】硅化物（salicide）的形成步驟主要可分為哪些？
答案：
①Co（或Ti）+TiN的沉積；
②第一次RTA（快速熱處理）來(lái)形成Salicide。
③將未反應(yīng)的...
②第一次RTA（快速熱處理）來(lái)形成Salicide。
③將未反應(yīng)的...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】何謂硅化物( salicide)?
答案：
Si與Ti或Co形成TiSix或CoSix, 一般來(lái)說(shuō)是用來(lái)降低接觸電阻值（Rs, Rc）。
