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問答題
【簡答題】目前有哪些納米加工技術(shù)？LIGA技術(shù)的原理是什么？
答案：
1）光刻電鑄（LIGA）技術(shù)；
2）半導體加工技術(shù)；
3）集成電路（IC）技術(shù)；
4）超微...
2）半導體加工技術(shù)；
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問答題
【簡答題】簡述微系統(tǒng)的基本特征和關(guān)鍵技術(shù)。
答案：
特征：體積小，重量輕，耗能低，性能穩(wěn)定，有利于大量生產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本，慣性小，諧振頻率高響應時間短，集約高技術(shù)成果，附加...
問答題
【簡答題】超精密加工的發(fā)展趨勢如何？有哪些主要的技術(shù)？
答案：
發(fā)展趨勢：高精度，原子級精度的加工。大型化，滿足航天航空、電子通信等領(lǐng)域的需要。微型化，以適應微型機械、集成電路的發(fā)展。...
