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問答題

【簡答題】光刻工藝的主要流程有哪幾步?什么是光刻工藝的分辨率?從物理角度看,限制分辨率的因素是什么?最常用的曝光光源是什么?

答案: 光刻的工藝流程共分7步:(1)涂膠,(2)前烘,(3)曝光,(4)顯影,(5)堅膜(6)刻蝕,(7)去膠。分辨率是指線條...
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