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對于大馬士革工藝,重點是在于金屬的刻蝕而不是介質(zhì)的刻蝕。
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不正確的刻蝕將導致硅片報廢,給硅片制造公司帶來損失。
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干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的最主要方法,濕法腐蝕一般只是用在尺寸較大的情況下刻蝕器件,例如大于3微米。
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