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判斷題

各向異性的刻蝕剖面是在所有方向上（橫向和垂直方向）以相同的刻蝕速率進(jìn)行刻蝕。

答案：錯誤

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光刻是集成電路制造工藝發(fā)展的驅(qū)動力。

答案：正確

投影掩膜版上的圖形是由金屬鉭所形成的。

答案：錯誤

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