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判斷題

表面起伏的硅片進(jìn)行平坦化處理，主要采用將低處填平的方法。

答案：錯(cuò)誤

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濺射是個(gè)化學(xué)過(guò)程，而非物理過(guò)程。

答案：錯(cuò)誤

傳統(tǒng)互連金屬線的材料是鋁，即將取代它的金屬材料是銅。

答案：錯(cuò)誤

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