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填空題

擴(kuò)散是物質(zhì)的一個(gè)基本性質(zhì)，分為三種形態(tài)（）擴(kuò)散、（）擴(kuò)散和（）擴(kuò)散。

答案： 氣相；液相；固相
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填空題

刻蝕剖面指的是（），有兩種基本的刻蝕剖面（）刻蝕剖面和（）刻蝕剖面。
答案： 被刻蝕圖形的側(cè)壁形狀；各向同性；各向異性
填空題

刻蝕是用（）或（）有選擇地從硅片表面去除不需要材料的工藝過程，其基本目標(biāo)是（）。
答案： 化學(xué)方法；物理方法；在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形
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