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填空題

在外延工藝中，如果膜和襯底材料（），例如硅襯底上長硅膜，這樣的膜生長稱為（）；反之，膜和襯底材料不一致的情況，例如硅襯底上長氧化鋁，則稱為（）。

答案：相同；同質外延；異質外延

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縮略語PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名稱分別是（）、（）、高密度等離子體化學氣相淀積和（）。

答案：等離子體增強化學氣相淀積；低壓化學氣相淀積；常壓化學氣相淀積

淀積膜的過程有三個不同的階段。第一步是（），第二步是（），第三步是（）。

答案：晶核形成；聚焦成束；匯聚成膜

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