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填空題

晶圓制備的九個工藝步驟分別是（）、整型、（）、磨片倒角、刻蝕、（）、清洗、檢查和包裝。

答案：單晶生長；切片；拋光

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晶圓的英文是（），其常用的材料是（）和（）。

答案： wafer；硅；鍺

單晶硅生長常用（）和（）兩種生長方式，生長后的單晶硅被稱為（）。

答案： CZ法；區(qū)熔法；硅錠

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