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單項選擇題

用高能粒子從某種物質(zhì)的表面撞擊出原子的物理過程叫（）。

A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積

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多項選擇題

真空鍍膜室是由（）幾部分組成。

A.鐘罩
B.蒸氣源加熱器
C.襯底加熱器
D.活動擋板
E.底盤

單項選擇題

真空鍍膜室內(nèi)，在蒸發(fā)源加熱器與襯底加熱器之間裝有活動擋板，用來（）。

A.隔擋氣體交換
B.控制蒸發(fā)的過程
C.輔助熱量交換
D.溫度調(diào)節(jié)

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