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單項(xiàng)選擇題

（）由鐘罩、蒸氣源加熱器、襯底加熱器、活動(dòng)擋板和底盤(pán)構(gòu)成。

A.真空鍍膜機(jī)
B.真空鍍膜室
C.真空鍍膜器
D.真空鍍膜儀

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單項(xiàng)選擇題

真空蒸發(fā)又被人們稱為（）。

A.真空沉積
B.真空鍍膜
C.真空外延
D.真空

多項(xiàng)選擇題

按加熱源的不同，可以分成（）幾種不同類(lèi)型的蒸發(fā)。

A.真空蒸發(fā)
B.離子束蒸發(fā)
C.電子束蒸發(fā)
D.粒子束蒸發(fā)
E.常壓蒸發(fā)