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單項(xiàng)選擇題

電子束蒸發(fā)的設(shè)備中產(chǎn)生電子束的裝置稱為（）。

A.電子源
B.電子泵
C.電子管
D.電子槍

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單項(xiàng)選擇題

用真空蒸發(fā)與濺射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金屬材料，是形成電極的（）。

A.重要步驟
B.次要步驟
C.首要步驟
D.不一定

多項(xiàng)選擇題

為了滿足半導(dǎo)體器件對金屬材料的低電阻連接以及可靠的要求，金屬材料應(yīng)該滿足（）。

A.低電阻率
B.易與p或n型硅形成歐姆接觸
C.可與硅或二氧化硅反應(yīng)
D.易于光刻
E.便于進(jìn)行鍵合

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