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單項(xiàng)選擇題

（）主要是以化學(xué)反應(yīng)方式來進(jìn)行薄膜沉積的。

A.PVD
B.CVD
C.濺射
D.蒸發(fā)

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單項(xiàng)選擇題

化學(xué)氣相沉積的英文名稱的縮寫為（）。

A.LVD
B.PED
C.CVD
D.PVD

多項(xiàng)選擇題

（）專指薄膜形成的過程中，并不消耗晶片或底材的材質(zhì)。

A.薄膜成長(zhǎng)
B.蒸發(fā)
C.薄膜沉積
D.濺射
E.以上都正確