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單項(xiàng)選擇題

離子源的作用是使所需要的雜質(zhì)原子電離成（）離子，并通過(guò)一個(gè)引出系統(tǒng)形成離子束。

A.正
B.負(fù)
C.中性
D.以上答案都可以

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單項(xiàng)選擇題

在各種離子源常用的放電方式中，EOS是指有（）。

A.電子振蕩放電
B.離子自動(dòng)放電
C.低電壓弧光放電
D.雙等離子電弧放電

多項(xiàng)選擇題

離子注入的主要?dú)怏w源中，劇毒的有（）。

A.砷化氫
B.二硼化氫
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷

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