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單項選擇題

在靶片前方設(shè)一抑制柵，作用是將（）抑制回去，從而保證測量的準確性。

A.二次電子
B.二次中子
C.二次質(zhì)子
D.無序離子

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單項選擇題

一般用（）測量注入的劑量。

A.劑量分布儀
B.劑量統(tǒng)計儀
C.電荷分析儀
D.電荷積分儀

單項選擇題

在實際工作中，常常需要知道離子注入層內(nèi)損傷量按（）的分布情況。

A.長度
B.深度
C.寬度
D.表面平整度

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