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單項選擇題

在熱擴散工藝中的預(yù)淀積步驟中，砷和銻的擴散溫度為（）。

A.1050～1200℃
B.900～1050℃
C.1100～1250℃
D.1200～1350℃

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單項選擇題

擴散爐中的管道一般都是用（）制作。

A.陶瓷
B.玻璃
C.石英
D.金屬

多項選擇題

下列可作為磷擴散源的是（）。

A.磷鈣玻璃
B.三氯氧磷
C.三氯化磷
D.磷烷
E.摻磷二氧化硅乳膠源