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單項選擇題
在空位擴散中,如果遷移到空位的原子是基質原子,擴散屬于()。
A.推擠擴散
B.雜質擴散
C.填隙擴散
D.自擴散
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單項選擇題
固體中的擴散模型主要有填隙機制和()。
A.自擴散機制
B.雜質擴散機制
C.空位機制
D.菲克擴散方程機制
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單項選擇題
對于濃度覆蓋很寬的雜質原子,可以采用()方法引入到硅片中。
A.離子注入
B.濺射
C.淀積
D.擴散
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