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單項選擇題

硅-二氧化硅系統(tǒng)中含有的最主要而對器件穩(wěn)定性影響最大的離子是（）。

A.鈉
B.鉀
C.氫
D.硼

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單項選擇題

二氧化硅生長過程中，當(dāng)分凝系數(shù)小于1時，會使二氧化硅-硅界面處硅一側(cè)的雜質(zhì)濃度（）。

A.降低
B.增加
C.不變
D.先降低后增加

單項選擇題

表示雜質(zhì)在硅-二氧化硅界面處重新分布的性質(zhì)和程度，習(xí)慣上常用（）。

A.分凝度
B.固溶度
C.分凝系數(shù)
D.擴(kuò)散系數(shù)

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