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單項(xiàng)選擇題

下列幾種氧化方法相比,哪種方法制得的二氧化硅薄膜的電阻率會(huì)高些()。

A.干氧氧化
B.濕氧氧化
C.水汽氧化
D.與氧化方法無(wú)關(guān)

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