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問答題
【論述題】什么是離子注入中常發(fā)生的溝道效應（Channeling）和臨界角？怎樣避免溝道效應？
答案：
溝道效應：對晶體靶進行離子注入，當離子速度方向平行于主晶軸時，將很少受到核碰撞，離子將沿溝道運動，注入深度很深。由于溝道...
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問答題
【論述題】熱退火用于消除離子注入造成的損傷，溫度要低于雜質熱擴散的溫度，然而，雜質縱向分布仍會出現高斯展寬與拖尾現象，解釋其原因。
答案：
離子注入后會對晶格造成簡單晶格損傷和非晶層形成；損傷晶體空位密度大于非損傷晶體，且存在大量間隙原子和其他缺陷，使擴散系數...
