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問答題

【論述題】簡述雜質(zhì)在SiO₂的存在形式及如何調(diào)節(jié)SiO₂的物理性質(zhì)。

答案：熱氧化層中可能存在各種雜質(zhì)，某些最常見的雜質(zhì)是與水有關的化合物，其結構如圖所示。如果氧化層在生長中有水存在，一種可能發(fā)生...

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答案：以P₂O₂雜質(zhì)源為例來說明SiO₂的掩蔽過程：當P

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