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問答題

【簡答題】襯底清洗過程包括哪幾個步驟？

答案：

（1）擦洗表面的大塊污物；（2）浸泡；（3）化學(xué)腐蝕；（4）水清洗；（5）干燥。

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工藝人員完成工藝操作后要認(rèn)真、及時填寫工藝記錄，做到記錄內(nèi)容詳細(xì)、（）、（）、書寫工整、（）。

答案：真實；完整；數(shù)據(jù)準(zhǔn)確

光刻工藝一般都要經(jīng)過涂膠、（）、曝光、（）、堅膜、腐蝕、（）等步驟。

答案：前烘；顯影；去膠