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填空題

拋光片的質(zhì)量檢測項目包括：幾何參數(shù)，直徑、（）、主參考面、副參考面、平整度、彎曲度等；（），電阻率，載流子濃度，遷移率等；晶體質(zhì)量，晶向，位錯密度。

答案： 厚度；電學參數(shù)
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