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單項(xiàng)選擇題

器件的橫向尺寸控制幾乎全由（）來(lái)實(shí)現(xiàn)。

A.掩膜版
B.擴(kuò)散
C.光刻

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單項(xiàng)選擇題

反應(yīng)離子腐蝕是（）。

A.化學(xué)刻蝕機(jī)理
B.物理刻蝕機(jī)理
C.物理的濺射刻蝕和化學(xué)的反應(yīng)刻蝕相結(jié)合

單項(xiàng)選擇題

恒定表面源擴(kuò)散的雜質(zhì)分布在數(shù)學(xué)上稱為（）分布。

A.高斯
B.余誤差
C.指數(shù)