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名詞解釋
互連
答案：
由導(dǎo)電材料，如鋁、多晶硅和銅制成的連線將電信號(hào)傳輸?shù)叫酒牟煌糠??；ミB也被用于芯片上器件和器件整個(gè)封裝之間的金屬連接。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并描述薄膜生長(zhǎng)的三個(gè)階段。
答案：
（1）晶核形成
分離的小膜層形成于襯底表面，是薄膜進(jìn)一步生長(zhǎng)的基礎(chǔ)。
（2）凝聚成束
形成...
分離的小膜層形成于襯底表面，是薄膜進(jìn)一步生長(zhǎng)的基礎(chǔ)。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是薄膜？例舉并描述可接受的薄膜的8個(gè)特性。
答案：
薄膜：指某一維尺寸遠(yuǎn)小于另外兩維上的尺寸的固體物質(zhì)。
好的臺(tái)階覆蓋能力、高的深寬比填隙能力（>3：1）
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