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問答題
【簡答題】給出使用初級泵和真空泵的理由。
答案：
當(dāng)真空里的壓強(qiáng)減低時，氣體分子間的空間加大了，這成為氣體流過系統(tǒng)及在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生等離子體的重要因素。而初級泵可以去除腔內(nèi)...
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問答題
【簡答題】硅片關(guān)鍵尺寸測量的主要工具是什么？
答案：
硅片關(guān)鍵尺寸測量的主要工具是掃描電子顯微鏡（SEM），它能放大10萬到30萬倍，這明顯高于光學(xué)顯微鏡，用掃描電子顯微鏡觀...
