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單項(xiàng)選擇題
為使蒸發(fā)材料分子從蒸發(fā)源到達(dá)基板時(shí)基本不和殘余氣體分子發(fā)生碰撞，故真空室內(nèi)真空度要到達(dá)10-3Pa以下，以滿足（）條件
A、氣體分子平均自由程小于蒸發(fā)距離.
B、氣體分子平均自由程遠(yuǎn)大于蒸發(fā)距離
C、氣體分子平均自由程等于蒸發(fā)距離。
D、氣體分子平均自由程的平方大于蒸發(fā)距離。
