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壓阻式壓力傳感器是利用半導(dǎo)體材料的()和集成電路工藝制成的傳感器。
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壓阻效應(yīng)
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將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的傳感器是()傳感器。
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壓力
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電容式接近開關(guān)以電極為檢測(cè)端的()工作。
答案:
靜電感應(yīng)方式
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