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問答題
【簡答題】試簡述LIGA技術的原理、特點及主要工藝。
答案：
原理：LIGA技術的機理是由深層X射線光刻、電鑄成形及塑注成形三個工藝組成。在用LIGA技術進行光刻過程中，一張預先制作...
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問答題
【簡答題】什么是光刻加工技術？試簡述光刻加工的原理和工藝流程。
答案：
光刻加工技術就是用光刻加工方法，刻蝕出規(guī)定的圖形的技術。
光刻加工是用照相復印的方法將光刻掩膜上的圖形印制在涂...
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問答題
【簡答題】敘述MEMS（微型機電系統(tǒng)）的基本特征，目前有哪些微型機械加工技術？
答案：
基本特征：體積小、重量輕、能耗低、性能穩(wěn)定；有利于大批量生產，降低生產成本；慣性小、諧振頻率高、響應時間短；集約高技術成...
