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填空題

壓電式傳感器可等效為一個（）和一個電容并聯(lián)，也可等效為一個與電容相串聯(lián)的電壓源。

答案：電荷源

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電感式傳感器可以分為（）、（）、渦流式三大類。

答案：自感式；互感式

電渦流傳感器從測量原理來分，可以分為（）和低頻透射式兩大類。

答案：高頻掃射式

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