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問答題
【簡答題】簡述離子注入效應。
答案:
溝道效應:當注入離子未與硅原子碰撞減速,而是穿透了晶格間隙時就發(fā)生了溝道效應。
控制溝道效應的方法:①傾斜硅片...
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問答題
【簡答題】簡述離子注入工藝相對于熱擴散工藝的優(yōu)缺點。
答案:
優(yōu)點:①精確地控制摻雜濃度和摻雜深度;
②可以獲得任意的雜質濃度分布;
③雜質濃度均勻性、重復性好;...
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名詞解釋
結深
答案:
雜質擴散濃度分布曲線與襯底摻雜濃度曲線交點的位置稱為結深。
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