- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
填空題
PECVD所采用的等離子種類有（）。
答案：
輝光放電等離子體、射頻等離子體、電弧等離子體
你可能感興趣的試題
填空題
物理氣相沉積法是利用（）將原料加熱，使之汽化或形成（），在基體上冷卻凝聚成各種形態(tài)的材料（如晶須、薄膜、晶粒等）的方法。其中以（）、（）較為常用。
答案：
高溫?zé)嵩?；等離子體；陰極濺射法；真空蒸鍍法
