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填空題

光化學(xué)腐蝕制備掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然為液態(tài)，這實質(zhì)上是將化學(xué)加工常規(guī)制備掩膜時的（）和（）兩道工序合二為一。

答案：光敏樹脂等感光材料；掩膜涂覆；刻劃

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光化學(xué)腐蝕也叫（）。

答案：噴淋腐蝕

過切量與腐蝕深度之比值稱為（）。

答案：腐蝕系數(shù)

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