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判斷題

電子束鉆削細(xì)微孔，每秒鐘最高可達(dá)4000個(gè)孔，生產(chǎn)率高

答案：正確

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電子束可以當(dāng)成車刀一樣，讓工件回轉(zhuǎn)對(duì)外圓表面切槽，此時(shí)工件回轉(zhuǎn)是進(jìn)給運(yùn)動(dòng)。

答案：正確

電子束光刻主要用于制作掩膜。

答案：正確